特許
J-GLOBAL ID：200903098426088032
カセット姿勢変換機能付きフリーアクセスカセットローダ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-065464
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264457
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハがカセット内から飛出すことがなく、カセットを高速搬送することができるフリーアクセスカセットローダを提供する。【構成】 カセットステージ3とカセット棚2との間でカセット1を搬送するフリーアクセスカセットローダにおいて、カセット1を支持する支持台7を回動部8で回動可能に枢支し、カセット搬送時にカセットを回動して傾け、カセット1内からのウェーハの飛出しを防止してカセットを高速搬送することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
カセットステージとカセット棚との間でカセットを搬送するフリーアクセスカセットローダにおいて、カセットを支持する支持台を回動部で回動可能に枢支し、カセット搬送時にカセットを回動して傾け、カセット内からのウェーハの飛出しを防止してカセットを高速搬送することを特徴とするカセット姿勢変換機能付きフリーアクセスカセットローダ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/68 A
, H01L 21/68 G
