特許

J-GLOBAL ID：200903098427593334

インクジェットヘッドの製造方法

発明者： 三村 忠士
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289467
公開番号（公開出願番号）：特開2003-094668
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 エッジシュータタイプのインクジェットヘッドを小型、高密度、低コストで形成すると共にダイシングにおけるチッピング現象が抑制され、高品質のノズル口を形成でき、かつ効率的なダイシングができるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 インクジェットヘッド1は、第1乃至第3の基板2,3,4を貼着積重したものからなり、インクを収納する液室に押圧力を与えてノズル口からインクを飛出するものであり、ノズル口はダイシングブレード15による加工により高効率に、かつチッピングが抑制された状態で高品質に研磨加工される。また、ダイシングブレード15を正帯電し、切削剤として研磨剤を用いることにより研磨剤の微粒子がダイシングブレードに積極的に付着しチッピング現象が抑制された高効率のダイシングができる。

請求項（抜粋）：

エッジシュータタイプのインクジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェットヘッドは、ノズル基板である第1の基板と、該第1の基板との間でノズル口を形成すると共に前記ノズル口に連通する液室を形成する第2の基板と、該第2の基板を加振しインクにエネルギーを与えるためのエネルギー発生体を有する第3の基板とを貼着積重したものからなり、前記インクジェットヘッドの前記ノズル口は、ヘッド端をダイシングブレードによりダイシングして形成し、ダイシング時においては液状の切削剤を用いることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (4件)：

B41J 2/16 ,  B24B 27/06 ,  B24D 5/12 ,  B28D 5/00

FI (4件)：

B24B 27/06 J ,  B24D 5/12 Z ,  B28D 5/00 Z ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (25件)：

2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AP02 ,  2C057AP12 ,  2C057AP22 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  3C058AA01 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA02 ,  3C063AA02 ,  3C063AB03 ,  3C063BB02 ,  3C063EE01 ,  3C063EE31 ,  3C069AA03 ,  3C069BA04 ,  3C069CA03 ,  3C069CA06 ,  3C069DA06 ,  3C069EA01 ,  3C069EA02 ,  3C069EA03