特許
J-GLOBAL ID：200903098429343246
高さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228111
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042720
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】試料の高さ計測の精度を高め、Zステージの移動回数を少なくしつつも、試料の反射率の影響を受けず、また全ての面にピントの合った画像も取得することが可能な高さ測定装置を提供する。【解決手段】対物レンズ7と、走査機構3と、移動機構14と、微小開口10と、光検出器11とを備えた共焦点顕微鏡を構成している。対物レンズ7の集光位置と試料8との相対位置を変えて2枚の共焦点画像を撮像し、それぞれの共焦点画像に対応する各画素毎に光検出器11による出力の差/和、又は、除算値を計算し、適当なスケーリングをすることによって試料の各点における高さ情報を得る高さ情報演算手段20と、高さ情報演算手段20で得た高さ情報と光検出器11の出力と共焦点顕微鏡の「輝度-焦点位置」特性とにより、試料各点の合焦位置での輝度値を得る輝度演算手段21とを有している。
請求項（抜粋）：
光源からの光を試料に対して集束させる対物レンズと、前記集束光を前記試料表面に沿って相対的に走査させる走査機構と、前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置とを相対的に移動させる移動機構と、前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置された微小開口と、前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器とを備えた共焦点顕微鏡を構成し、前記対物レンズの集光位置と前記試料との相対位置を変えて2枚の共焦点画像を撮像し、それぞれの共焦点画像に対応する各画素毎に前記光検出器による出力の差/和、又は、除算値を計算し、適当なスケーリングをすることによって試料の各点における高さ情報を得る高さ情報演算手段と、前記高さ情報演算手段で得た高さ情報と前記光検出器の出力と前記共焦点顕微鏡の「輝度-焦点位置」特性とにより、試料各点の合焦位置での輝度値を得る輝度演算手段とを有することを特徴とする高さ測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/02 Z
, G02B 21/00
2F065AA24
, 2F065DD03
, 2F065DD04
, 2F065JJ01
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ29
, 2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AD19
, 2H052AF02
, 2H052AF25
