特許
J-GLOBAL ID：200903098430236844
ガラス体表面の化学的研磨法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 静男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009422
公開番号（公開出願番号）：特開平7-215736
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：
【要約】【目的】 表面精度に優れたガラス体を複雑な装置を用いることなく簡便に得ることができるガラス体表面の研磨方法を提供する。【構成】 フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3 )とからなり、HF/HNO3 の重量比が0.08/1〜15/1であり、混酸の濃度が0.01〜4.0wt%である混酸水溶液を含む処理液を、ガラス体の表面と動的接触させることを特徴とするガラス体表面の化学的研磨法。
請求項（抜粋）：
フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3 )とからなり、HF/HNO3 の重量比が0.08/1〜15/1であり、混酸の濃度が0.01〜4.0wt%である混酸水溶液を含む処理液を、ガラス体の表面と動的接触させることを特徴とするガラス体表面の化学的研磨法。
引用特許：
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