特許
J-GLOBAL ID：200903098431152806
薬液処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003304
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190442
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】1つの薬液処理装置で処理した複数の廃液を別々に排出回収する。【構成】薬液処理装置を構成する処理カップを外側カップ1と内側カップ2とで二重化し、第1薬液での処理と第2薬液での処理に伴う各廃液を第1カップ1と第2カップ2とに分離して収容し、それぞれのカップから廃液を排出する。【効果】廃液が別々に高精度で回収されることにより、現像では廃液処理が容易となり、処理液の再利用が可能となり、また廃液処理設備を簡素化できる。
請求項（抜粋）：
ウェハを載置して回転可能なウェハチャックを内裝し、前記ウェハチャックに載置したウェハに順次異なる薬液を適用して前記ウェハを回転させ、前記適用した薬液の振り切り操作を施すことで、それぞれ異なる処理を行う薬液処理装置において、前記薬液処理装置を前記ウェハを内包する位置と前記ウェハを外部に露呈する位置とで位置移動する内側カップと、前記内側カップを収容して前記内側カップから露呈した前記ウェハを内包する外側カップとから構成し、前記処理後の異なる薬液を前記内側カップと前記外側カップの一方に回収可能として前記異なる薬液を別々に回収する構成したことを特徴とする薬液処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, G03F 7/30 502
