特許
J-GLOBAL ID:200903098431391592

照明装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-153950
公開番号(公開出願番号):特開平8-022712
出願日: 1994年07月05日
公開日(公表日): 1996年01月23日
要約:
【要約】【目的】 近接し合う対向物があるような場合でも、この対向部での乱反射光の発生を防止して、精度よく検査できるように照明する。【構成】 照明対象物Aをまわりから照明する照明部Bを四角形なものとし、この四角形な各辺1の内面にこの内面から内側に向くほぼ平行な照明光2を作る指向性のある照明光源3を設け、必要に応じ、照明光源3の各辺ごとの照度を個別に制御する。
請求項(抜粋):
照明対象物をまわりから照明する照明部を四角形なものとし、この四角形な各辺の内面にこの内面から内側に向くほぼ平行な照明光を作る指向性のある照明光源を設けたことを特徴とする照明装置。
IPC (3件):
F21V 19/02 ,  G02B 27/00 ,  H01L 21/66
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平2-187612
  • リード検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-093105   出願人:株式会社日立製作所, 日立東部セミコンダクタ株式会社
  • 特開平4-364404
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