特許

J-GLOBAL ID：200903098438962870

磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドの加工量検知用マーカー及びその製造方法

発明者： 笠越 利幸 ,  吉村 邦明 ,  田中 茂徳
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-199116
公開番号（公開出願番号）：特開平10-049828
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 MR素子と研磨加工量検知マーカーとの位置精度と形状寸法精度とを高精度に形成する。【解決手段】 研磨加工量検知マーカーを形成する基板上の位置を、MR素子が形成される下部シールド層と絶縁層との積層体からなる平面と同じ高さの平面上に形成し、更に加工量検知マーカーとMR素子とは同一薄膜材料によって構成され、同一工程で形成される。

請求項（抜粋）：

表面に絶縁層を有した基板上に上部及び下部磁気シールド層を形成し、該上部及び下部磁気シールド層間に磁気抵抗効果素子(MR素子)を配して、磁気記録媒体からの磁気信号を再生する手段を備えると共に、前記MR素子高さを計測する加工量検知用マーカーを近傍に有する磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記加工量検知用マーカーを前記MR素子とほぼ同一高さ面上に形成されるように平坦化層を設け、その平坦化層上に形成したことを特徴とする磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドの加工量検知用マーカー。

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 磁気抵抗効果型磁気ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-058676   出願人：ソニー株式会社
• 特開昭61-240417
  
• 特開昭60-098515
  
• 特開昭60-193119