ゾーン分割ヒータの温度制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022131
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219221
出願日： 1998年02月03日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ヒータ全面に亘って温度分布が生じないようにする。【解決手段】平板状の加熱面が複数の異なる隣接した加熱ゾーンに分割され、各加熱ゾーン毎に独立に制御される加熱体を有し、その上面に被温度制御体が載置されるゾーン分割ヒータの温度制御装置において、各加熱ゾーン間の動特性の定常偏差がなくなるようにゲインが予め調整され、目標温度にしたがって当該加熱ゾーンをフィードバック加熱制御する第1の制御手段、及び第1の制御手段のゲイン調整後の各加熱ゾーンの動特性を各加熱ゾーン間で共通化かつ近似低次元化した動特性モデルを有し、目標温度に対応する加熱ゾーンの出力と目標温度に対応する動特性モデルの出力との偏差をとり、この偏差を目標温度にフィードバックする第2の制御手段を各加熱ゾーンの制御系に各別に備える。

請求項（抜粋）：

平板状の被温度制御体と、平板状の加熱面が複数の異なる隣接した加熱ゾーンに分割され、各加熱ゾーン毎に独立に制御される加熱体を有し、その上面に前記被温度制御体が載置されるゾーン分割ヒータと、これらゾーン分割ヒータを各加熱ゾーン毎に各別に制御する複数の制御系と、を有し、前記ゾーン分割ヒータによって前記被温度制御体を加熱制御するゾーン分割ヒータの温度制御装置において、各加熱ゾーン間の動特性の定常偏差がなくなるようにゲインが予め調整され、目標温度にしたがって当該加熱ゾーンをフィードバック加熱制御する第1の制御手段と、前記第1の制御手段のゲイン調整後の各加熱ゾーンの動特性を各加熱ゾーン間で共通化しかつ近似低次元化した動特性モデルを有し、目標温度に対応する当該加熱ゾーンの出力と目標温度に対応する前記動特性モデルの出力との偏差をとり、この偏差を目標温度にフィードバックする第2の制御手段と、を前記各加熱ゾーンの制御系に各別に備えるようにしたことを特徴とするゾーン分割ヒータの温度制御装置。

IPC (4件)：

G05D 23/19 , G05B 11/36 507 , G05B 13/02 , G05B 13/04

FI (4件)：

G05D 23/19 J , G05B 11/36 507 H , G05B 13/02 C , G05B 13/04

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