特許

J-GLOBAL ID：200903098467966125

クリーンルーム

発明者： 江崎 浩治 ,  福本 隼明 ,  出水 清史
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-040984
公開番号（公開出願番号）：特開平10-238833
出願日： 1997年02月25日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】 装置のメンテナンスや薬液交換時に発生する異物の拡散を防止して製造工程途中の半導体ウェハの汚染、およびメンテナンスのために解体された装置内部の汚染を防止できる空調システムを有したクリーンルームを提供する。【解決手段】 移動および収納が可能なメンテナンスエリア形成装置16をクリーンルーム1内に具備すると共に、メンテナンスエリア形成装置16により形成されたメンテナンスエリア17内に、必要に応じて作業ゾーン9に供給されるエアとは異なるエアを供給できる空調システムを有し、装置10のメンテナンス時や薬液交換時には、メンテナンスエリア形成装置16を必要な場所に移動してメンテナンスエリア17を形成すると共に、メンテナンスエリア17内に必要な清浄度のエアを供給する。

請求項（抜粋）：

外気の温湿度を制御すると共に、第一清浄度に管理したエアを供給する外調機と、上記外調機により供給されるエアを第三清浄度のエアに清浄化するエア生成装置と、上記外調機から第一清浄度に管理されたエアが供給される、動力供給設備や環境保全設備が配置されたユーティリティゾーンと、上記ユーティリティゾーンのエアが、空気循環設備により循環されて供給される天井チャンバーと、上記天井チャンバーのエアを第二清浄度のエアに清浄化する天井フィルタと、製造装置や搬送装置が配置され、上記天井フィルタを介した第二清浄度のエアが供給される作業ゾーンと、上記作業ゾーンのエアを上記ユーティリティゾーンに排気するグレーティング床と、上記作業ゾーンの天井部とグレーティング床下の所定領域に配置された一対のエリア仕切りチャンバーと、上記天井部エリア仕切りチャンバーに供給するエアを、上記天井フィルタを介した第二清浄度のエアと、上記エア生成装置から供給される第三清浄度のエアとの間で切り替えを行う天井部エアチェンジダクトと、上記床下エリア仕切りチャンバー内のエアを、上記ユーティリティゾーンに排気するか、所定の配管を介して外部に排気するかの切り替えを行う床下エアチェンジダクトと、上記天井部エリア仕切りチャンバーの下方に配置され、上記天井部エリア仕切りチャンバーと同じ形状のエリアを上記作業ゾーン内に形成できる収納式のエリア形成装置を備え、上記収納式のエリア形成装置により形成されたエリア内は、所望時に上記天井部エアチェンジダクトおよび上記天井部エリア仕切りチャンバーを介して上記エア生成装置から第三清浄度のエアが供給、充填されるよう構成されていることを特徴とするクリーンルーム。