特許

J-GLOBAL ID：200903098473140506

半導体シミュレーション装置

発明者： 池本 和人 ,  清水 俊吉 ,  向井 幹雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134289
公開番号（公開出願番号）：特開平5-304065
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 初心者や専門外の人でも容易に半導体製造プロセスのデータを入力することができ、入力ミスが少なく、誤データを瞬時に見つけることが可能であり、短時間でデータの入力が可能で効率的なシミュレーションを実現する半導体シミュレーション装置を提供すること。【構成】 入力されたデータに基づき、簡便なシミュレーション演算を逐次行う簡易シミュレーションステップ14と、簡易シミュレーションステップ14による演算結果に基づき、シミュレーションされた結果を、半導体装置の製造工程毎に図形化処理する図形化処理ステップ16とを有し、図形化処理ステップ16により図形化された画像を表示する工程図表示部と、データをメニュー形式で入力するための入力表示部と、半導体装置の製造工程を標準フォーマットで表示する工程表示部とを、表示画面を三分割して同時に表示する。

請求項（抜粋）：

表示画面を見ながら必要なデータを入力する半導体シミュレーション装置において、入力されたデータに基づき、簡易なシミュレーション演算を工程ごとに逐次行う簡易シミュレーション手段と、簡易シミュレーション手段による演算結果に基づき、シミュレーションされた結果を、半導体装置の製造工程毎に図形化処理する図形化処理手段と、図形化処理手段により図形化された画像を表示する工程図表示部と、データをメニュー形式で入力するための入力表示部と、半導体装置の製造工程を標準フォーマットで表示する工程表示部とを、上記表示画面を三分割して同時に表示する表示制御手段とを有する半導体シミュレーション装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  G06F 15/20 ,  G06F 15/24 101

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-065146
  
• 特開平2-085981
  
• 特開昭63-249328