特許

J-GLOBAL ID：200903098474446684

改善型サンプル保持テーブル付き研磨装置

発明者： アンドレ・バルディ ,  ジェラール・バロワ ,  アンリ・ブランク ,  マーセル・ドミニク
出願人/特許権者： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-141681
公開番号（公開出願番号）：特開平5-208363
出願日： 1992年06月02日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】磁性読み書きヘッドの製造などに適用される改善型サンプル保持テーブル付き研磨装置を提供する。【構成】テーブルは2つの第1軸部62,63と2つの第2軸部65,66を有するカルダンシステムを有する。なお、これら第1および第2軸部は、研磨されるべきサンプルの中心において、直交している。

請求項（抜粋）：

研磨手段(30)と、この研磨手段(30)に面する、研磨されるべき面を有するサンプルウエハ(44)を保持可能な保持手段(32)とからなる研磨装置であり、前記保持手段が、2つの垂直回転軸を有するカルダンシステムと、研磨手段(30)にサンプルウエハ(44)の研磨されるべき面を適用し、互いに横に押し退けるようにするための適用手段(34)とからなる、研磨装置において、前記サンプルウエハ(44)を保持可能な保持手段が、研磨されるべき面が上方を向くように、研磨されるべきサンプルウエハ(44)を保持可能なサンプルホールダ(40)を有するカルダンテーブルであり、前記サンプルホールダ(40)が第1方向を有する2つの第1軸部(62、63)によりリング(61)に取付けられており、前記リングは第1方向と垂直な第2方向を有する2つの第2軸部(65、66)によりフレームに取付けられており、前記第1軸部および第2軸部は、研削されるべきサンプルウエハ(44)の中心(O)で交差していることを特徴とする、研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  G11B 5/127