特許
J-GLOBAL ID：200903098480957003

基板処理装置、基板処理方法、コンピュータプログラム及び記憶媒体

発明者：
東 真喜夫

東 真喜夫 について

, 
宮田 亮

宮田 亮 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 井上 俊夫 ,  水野 洋美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-381538
公開番号（公開出願番号）：特開2005-317913
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 塗布、現像装置において、搬送サイクルを時系列に並べた搬送スケジュールを参照しながら各モジュールに置かれた基板を複数の基板搬送手段により搬送を分担して、一つ順番が後のモジュールに順次移す制御を行うにあたり、スループットの向上を図ること。【解決手段】 一の基板搬送手段が一の搬送サイクルにおいて自己の受け持つ搬送が終了した後、搬送スケジュールをいわば先読みして、次の搬送サイクルにおいて自己の受け持つ搬送に関わる先頭のモジュールの前に位置して待機する。このようにすれば、各搬送サイクルを速やかに実行することができる。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
各々基板が載置されると共に搬送の順番が決められているモジュール群と、複数の基板搬送手段と、を備え、 複数の基板搬送手段により、モジュール群の各モジュールに置かれた基板を一つ順番が後のモジュールに移す動作を分担して行うことにより一の搬送サイクルを実行し、当該一の搬送サイクルを実行した後、次の搬送サイクルに移行し、各搬送サイクルを順次実行することにより前記モジュール群のうち順番の小さいモジュールから順番の大きいモジュールに基板が順次搬送されて所定の処理が行われる基板処理装置において、 基板に順番を割り当て、基板の順番と各モジュールとを対応付けて搬送サイクルを指定した搬送サイクルのデータを時系列に並べて作成された搬送スケジュールを記憶する記憶部と、 前記搬送スケジュールを参照し、搬送サイクルのデータに書き込まれている基板をその基板に対応するモジュールに搬送するように基板搬送手段を制御し、これにより搬送サイクルを実行する搬送制御部と、 複数の基板搬送手段の一の基板搬送手段が一の搬送サイクルにおいて自己の受け持つ搬送が終了した後、他の基板搬送手段により当該一の搬送サイクルが実行されている間に、前記記憶部に記憶されている搬送スケジュールを参照して次の搬送サイクルにおいて自己の受け持つ搬送に係わる先頭のモジュールの前に当該一の基板搬送手段を位置させて待機させる待機位置制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  H01L21/02
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/02 Z
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA15 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 基板処理方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-129976   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 半導体製造装置の基板搬送制御方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-331320   出願人：国際電気株式会社
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-243213   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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