特許
J-GLOBAL ID：200903098482305500
計測用電極およびその製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
川北 武長
, 川北 武長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-288884
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126782
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】電極間隔が50μm以下の微小電極を簡単な製作工程で得ることができる計測用電極およびその製造法を提供する。【構成】金属材料からなる中心電極1と、該中心電極の近傍に電気絶縁性樹脂層3を介して設けられた金属材料からなる外側電極2と、該外側電極の周囲に形成された補強用電気絶縁層4とからなり、上記中心電極と外側電極の間隔が50μm以下であって該先端部においてこれらの電極を露出させたことを特徴とする計測用電極および金属線または金属帯に電気絶縁性樹脂層を被覆し、該被覆層の周囲または表裏に表面金属化法により金属層を形成した後、さらに該金属層の周囲に補強用電気絶縁層を形成し、次いでその先端部において上記金属線または金属帯および金属層を露出させることを特徴とする計測用電極の製造法に関する。
請求項（抜粋）：
金属材料からなる中心電極と、該中心電極の近傍に電気絶縁性樹脂層を介して設けられた金属材料からなる外側電極と、該外側電極の周囲に形成された補強用電気絶縁層とからなり、上記中心電極と外側電極の間隔が50μm以下であって該先端部においてこれらの電極を露出させたことを特徴とする計測用電極。
引用特許：
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