特許

J-GLOBAL ID：200903098484007921

固体撮像素子

発明者： 原田 耕一 ,  上田 康弘
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185961
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015724
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 紫外線等の特定波長光に対する感度を向上させることができ、かつ高感度の製品を歩留まりよく製造することを可能にする固体撮像素子を提供する。【解決手段】 特定波長光λ1を通す絶縁膜11がセンサ部3上に形成されて成る固体撮像素子1を構成する。また、センサ部3の半導体基板2上に第1の反射防止膜11を有し、その上に層間膜6を介して又は介さないで第2の反射防止膜12または13が形成され、第1の反射防止膜11及び第2の反射防止膜12または13により特定波長光λ1を通すようにして成る固体撮像素子21,31,41を構成する。

請求項（抜粋）：

特定波長光を通す絶縁膜がセンサ部上に形成されて成ることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H04N 5/335 U ,  H01L 31/02 D

Fターム (23件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA33 ,  4M118CA34 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GC20 ,  5C024AA00 ,  5C024EA00 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11 ,  5C024GA11 ,  5F088BA18 ,  5F088BB03 ,  5F088EA04 ,  5F088HA01 ,  5F088LA05