特許

J-GLOBAL ID：200903098484497937

3次元形状測定装置

発明者： 蛭川 英男 ,  今井 義久
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165561
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010733
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 装置構成を簡略すると共に、測定精度を向上できる装置を実現する。【構成】 光源30からの出射光を、BS31で分岐した一方の光を測定対象9に集光する対物レンズ8、測定対象9からの第1の反射光が対物レンズ8を介して入射される偏光BS34及び1/4波長板7からなる光アイソレ-タに入射された光を再び測定対象9へ入射する平面ミラ-35、測定対象9からの反射光の拡がり角から対物レンズ8の焦点誤差を検出して対物レンズ8の位置に帰還をかけ常に合焦状態にする自動焦点機構、BS31で分岐された他方の光を参照ミラ-32で反射させ測定対象9からの第2の反射光と干渉させ干渉縞から測定対象9の変位を検出するBS31を含む干渉計、測定対象9を光軸に対して垂直方向に移動させその変位を出力するステ-ジ10、干渉計及びステ-ジ10からの変位出力から測定対象9の形状を求めて表示する信号処理装置36を備える。

請求項（抜粋）：

光ビ-ムを測定対象面と基準面に照射し、これらの反射光の位相差から前記測定対象の形状を求める3次元形状測定装置において、安定した波長の光を出力する光源と、この光源からの出射光を2つに分岐する光学部品と、この光学部品で分岐された一方の光を前記測定対象に集光させるための対物レンズと、前記測定対象からの第1の反射光が前記対物レンズを介して入射される偏光ビ-ムスプリッタおよび1/4波長板からなる光アイソレ-タと、この光アイソレ-タに入射された光を再び前記対物レンズを介して前記測定対象へ入射させるための平面ミラ-と、前記測定対象からの反射光の拡がり角から前記対物レンズの焦点誤差を検出して、対物レンズの位置に帰還をかけて常に合焦状態にする自動焦点機構と、前記光学部品で分岐された他方の光を参照ミラ-で反射させ、この反射光と前記測定対象からの第2の反射光とを干渉させ、その干渉縞から前記測定対象の変位を検出する前記光学部品を含む干渉計と、前記測定対象を光軸に対して垂直方向に移動させ、その変位を出力するステ-ジと、前記干渉計およびステ-ジからの変位出力から前記測定対象の形状を求めて表示する信号処理装置とを備えた構成としたことを特徴とする3次元形状測定装置。