特許
J-GLOBAL ID:200903098488525587

誘電体多層膜光フィルタおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大家 邦久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-214240
公開番号(公開出願番号):特開平11-052128
出願日: 1997年08月08日
公開日(公表日): 1999年02月26日
要約:
【要約】【課題】 誘電体蒸着膜層と樹脂基板の密着性が向上した低コストの誘電体多層膜光フィルタおよびその製造方法を提供する。【解決手段】(1)樹脂層がポリスチレン、非晶質ポリオレフィン、アクリル系重合体、ポリカーボネートなどの汎用的透明樹脂材料、透明接着層および屈折率の異なる誘電体多層膜を順次積層してなる誘電体多層膜光フィルタ、および(2)表面が平滑な仮基板上に樹脂薄膜基板を形成する工程、前記樹脂薄膜基板上にイオンアシスト蒸着法により屈折率の異なる誘電体を積層した誘電体多層膜を形成する工程、前記誘電体多層膜上に透明接着層を設けた後透明樹脂層を形成する工程、および前記樹脂薄膜基板と誘電体多層膜とを剥離する工程を有する誘電体多層膜光フィルタの製造方法。
請求項(抜粋):
透明樹脂層、透明接着層および屈折率の異なる誘電体多層膜を順次積層してなる誘電体多層膜光フィルタ。
IPC (8件):
G02B 5/28 ,  B29D 11/00 ,  C23C 14/08 ,  C08L 23/00 ,  C08L 25/04 ,  C08L 33/04 ,  C08L 69/00 ,  C08L 79/08
FI (8件):
G02B 5/28 ,  B29D 11/00 ,  C23C 14/08 N ,  C08L 23/00 ,  C08L 25/04 ,  C08L 33/04 ,  C08L 69/00 ,  C08L 79/08

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