特許
J-GLOBAL ID：200903098489931031
イオンの飛行時間測定方法及びアトムプローブ電界イオン顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176379
公開番号（公開出願番号）：特開平9-027295
出願日： 1995年07月12日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】【課題】 ノイズの影響を受けず高精度に試料から放出されるイオンの飛行時間を測定する方法、及びアトムプローブ電界イオン顕微鏡の提供。【解決手段】 試料9から放出されるイオンの飛行時間の測定開始コマンドを出力するパーソナルコンピュータ1と、測定開始コマンドを入力すべきインターフェイス2と、インターフェイス2が出力する測定開始信号SSTART を入力すべきゲートアンドディレイ発生器3と、ゲートアンドディレイ発生器3が出力する測定開始信号S′START を入力すべきタイマー4とを備え、インターフェイス2から出力される測定開始信号SSTART に基づいてイオンの飛行時間の測定を開始させる。
請求項（抜粋）：
コンピュータの制御により発生させた高電圧パルスを試料に与え、試料の表面原子をイオンとして放出させた時点から該イオンがイオン検出器に到達するまでのイオンの飛行時間を測定する方法において、前記イオン飛行時間の測定開始時点を、前記高電圧パルスの発生を指令する前記コンピュータの信号に基づいて定めてイオンの飛行時間を測定することを特徴とするイオンの飛行時間測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/40
, G01N 27/62 K
