特許
J-GLOBAL ID：200903098492701390
ウエハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253217
公開番号（公開出願番号）：特開平10-098087
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】ウエハ交換に要する時間を実質的に短くし、ウエハ処理のスループットを向上させる。【解決手段】予備排気室2に設置されているウエハ搬送ロボット8は第1チャック5と第2チャック7を備え2つのウエハを同時に保持することができるので、真空容器1内で処理済みのウエハを第2チャック7で取り出すことに引き続いて、第1チャック5に用意しておいた処理前のウエハを真空容器1内に導入する。そして、真空容器1内でウエハ処理をしている間に、処理済みのウエハを第2チャック7から装置外部にあるウエハカセット3に排出し、続いて、次に処理すべきウエハを第1チャック5に導入し、次の処理に備える。
請求項（抜粋）：
真空容器内で処理を行うためのウエハを大気中から真空容器内へ搬送するウエハ搬送装置において、ウエハの処理を行う真空容器と、前記ウエハを前記真空容器内に導入するための予備排気室と、この予備排気室内にウエハを同時に挟持できる2つ以上のチャックを備え、処理済みのウエハの前記真空容器から前記予備排気室への排出と、処理前のウエハの前記予備排気室から前記真空容器への導入を引き続いて行うことを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
