特許
J-GLOBAL ID:200903098497931989

奇数次の高調波信号成分を濾波する装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江崎 光史 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-186721
公開番号(公開出願番号):特開平10-073459
出願日: 1997年07月11日
公開日(公表日): 1998年03月17日
要約:
【要約】【課題】 できる限り短いフィルタ長を有し、種々の走査装置に採用でき、例えば光源から到来する光が先ず走査板を通過し、次いで測定目盛に達する上に述べた反転走査装置にも採用できる、増分式の位置測定装置で奇数次の高調波信号成分を濾波する装置を提供し、所望のフィルタ作用が走査間隔に無関係に得られるべきである。【解決手段】 目盛板の周期的な測定目盛を走査板1で走査して生じる周期信号から奇数次の高調波信号成分を濾波する方法にあって、走査板1が測定方向xに周期的に並んだ個別フィルタ要素FE1,FE2 を有し、これ等ノフィルタ要素に生じる周期pに対してP=N・d<SB>A </SB>が当てはまり、ここでNがN<1の奇数であり、d<SB>A </SB>が濾波作用のない走査目盛の周期であり、前記フィルタ要素FE1,FE2 には、一つのフィルタ要素FE1,FE2 内にそれぞれ構造要素3.1, 3.2を有する相補的に形成された二つの二分割要素が設けてあるように対称配置の構造要素3.1, 3.2が設けてある。
請求項(抜粋):
目盛板の周期的な測定目盛を走査板(1)で走査して生じる周期信号から奇数次の高調波信号成分を濾波する方法において、走査板(1)が測定方向(x)に周期的に並んだ個別フィルタ要素(FE1,FE2,FE100,FE300,FE400,FE500 )を有し、これ等ノフィルタ要素に生じる周期pに対してP=N・d<SB>A </SB>が当てはまり、ここでNがN<1の奇数であり、d<SB></SB><SB>A </SB>が濾波作用のない走査目盛の周期であり、前記フィルタ要素(FE1,FE2,FE100,FE300,FE400,FE500 )には、一つのフィルタ要素(FE1,FE2,FE100,FE300,FE400,FE500 )内にそれぞれ構造要素(3.1, 3.2, 103.1, 103.2)を有する相補的に形成された二つの二分割要素が設けてあるように対称配置の構造要素(3.1, 3.2, 103.1, 103.2)が設けてある、ことを特徴とする装置。
IPC (2件):
G01D 5/38 ,  G01B 11/00
FI (2件):
G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 A

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