特許
J-GLOBAL ID:200903098499599566

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-096566
公開番号(公開出願番号):特開2000-292284
出願日: 1999年04月02日
公開日(公表日): 2000年10月20日
要約:
【要約】【課題】 小型化に適すると共に、温度変化による検出精度の低下がなく、高温環境下や温度変化の大きな環境下でも安定した圧力検出を行うことのできる圧力センサを得る。【解決手段】 流体圧力に応じて圧力検出ロッド25を変位させる圧力-変位変換機構27は、流体圧力が導入される受圧室33内に装備されて受圧面23aに作用する流体圧力に応じて伸縮するベローズ23と、ベローズ23の伸縮に応じて進退動作する圧力検出ロッド25とを備えた構成とし、圧力検出ロッド25の変位に応じて電気信号を出力する検出信号出力手段29は、圧力検出ロッド25の基端に固定されたコア45と、コア45の変位に応じて第1及び第2の2つの二次コイル55,56間の電圧差を出力するコイルユニット47から構成される差動トランス49とが装備される。
請求項(抜粋):
受圧面に作用する流体圧力に応じて圧力検出ロッドを変位させる圧力-変位変換機構と、前記圧力検出ロッドの変位に応じた電気信号を出力する検出信号出力手段とを備えた圧力センサにおいて、前記圧力-変位変換機構は、流体圧力が導入される受圧室内に装備されて受圧面に作用する流体圧力に応じて伸縮するベローズと、先端が前記ベローズに固定され該ベローズの伸縮に応じて進退動作する圧力検出ロッドとを備え、前記検出信号出力手段には、前記圧力検出ロッドの基端に固定されたコアと、該コアの変位に応じて第1及び第2の2つの二次コイル間の電圧差を出力するコイルユニットから構成される差動トランスとが装備されたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件):
G01L 7/06 ,  G01D 5/22
FI (2件):
G01L 7/06 ,  G01D 5/22 A
Fターム (23件):
2F055AA21 ,  2F055AA24 ,  2F055AA25 ,  2F055BB19 ,  2F055CC04 ,  2F055DD20 ,  2F055EE04 ,  2F055FF01 ,  2F055FF38 ,  2F055FF49 ,  2F055GG25 ,  2F055GG31 ,  2F055HH03 ,  2F055HH05 ,  2F077AA41 ,  2F077AA49 ,  2F077DD12 ,  2F077FF04 ,  2F077FF12 ,  2F077FF22 ,  2F077TT06 ,  2F077VV02 ,  2F077VV25

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