特許

J-GLOBAL ID：200903098502600422

カラーフィルターの製造方法とこれに用いるカラーフィルター用現像液

発明者： 大塚 洋一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172275
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023824
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像素子、および液晶表示素子における現像残渣、パターンの剥離の問題を改善する。【解決手段】 有機アルカリ系現像液にノニオン系の界面活性剤が添加し、現像工程には、少なくとも2回以上の現像処理を行い、その2回目以降の現像処理において、少なくとも1回の有機アルカリ系現像液にノニオン系の界面活性剤が添加された現像液を用いて現像処理を行う。

請求項（抜粋）：

有機アルカリ系現像液にノニオン系の界面活性剤が添加されたカラーフィルター用現像液。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/32

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/32