特許
J-GLOBAL ID:200903098505233226

α線センサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-017181
公開番号(公開出願番号):特開平10-213666
出願日: 1997年01月30日
公開日(公表日): 1998年08月11日
要約:
【要約】【課題】 安価でかつ正確な測定ができる半導体式α線センサーを提供する。【解決手段】 PINフォトダイオードの検出部の入射側にアルミナイズドマイラーを配し、かつ該アルミナイズドマイラーが接地可能となっているα線センサー。
請求項(抜粋):
PINフォトダイオードの検出部の入射側にアルミナイズドマイラーを配し、かつ該アルミナイズドマイラーが接地可能となっていることを特徴とするα線センサー。
IPC (2件):
G01T 1/24 ,  H01L 31/09
FI (2件):
G01T 1/24 ,  H01L 31/00 A

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