特許

J-GLOBAL ID：200903098505646920

マイクロレンズ付き光導波路およびその製造方法

発明者： 岡田 訓明
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 原 謙三 ,  木島 隆一 ,  金子 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-162908
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361858
出願日： 2003年06月06日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】安価で簡単に、マイクロレンズと精密に位置あわせされたミラーを形成する。【解決手段】マイクロレンズ5を形成するレンズ形成工程と、コア層2を積層するコア層形成工程と、マイクロレンズ5の光軸に対して傾斜している傾斜面を有するミラー基台22aとこれを覆う反射膜4を形成するミラー形成工程と、を有するマイクロレンズ付き光導波路の製造方法であって、ミラー基台22aを、感光性樹脂にマイクロレンズ5を介した光を照射することにより形成する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

光を集光するためのマイクロレンズを形成するレンズ形成工程と、 光を伝播するコア層を形成するコア層形成工程と、 上記マイクロレンズの光軸に対して傾斜しているミラー面を有し、マイクロレンズから入射する光をコア層に導く、あるいはコア層を伝播した光をマイクロレンズに導くミラーを形成するミラー形成工程と、を有するマイクロレンズ付き光導波路の製造方法であって、 上記ミラー形成工程が、感光性樹脂にマイクロレンズを介した光を照射することにより、マイクロレンズ光軸に対して傾斜している傾斜面を有するパターンを形成するパターン形成工程を含むことを特徴とするマイクロレンズ付き光導波路の製造方法。

IPC (3件)：

G02B6/122 ,  G02B3/00 ,  G02B6/13

FI (4件)：

G02B6/12 C ,  G02B3/00 Z ,  G02B6/12 M ,  G02B6/12 B

Fターム (8件)：

2H047KA04 ,  2H047LA09 ,  2H047MA03 ,  2H047MA07 ,  2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA05