特許
J-GLOBAL ID：200903098506071831
感光性樹脂
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-285774
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127385
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】紫外光と電子線のハイブリッドリソグラフィ用感光性樹脂を提供する。【構成】ナフトキノンジアジドはクレゾールノボラックのアルカリ可溶性を抑えるが紫外光照射部1aは、アルカリ可溶性になる。そして電子線照射により、4-ジトリクロロメチルトリアジン化合物より酸が発生し、加熱によりクレゾールノボラックとメラミン化合物の酸触媒架橋反応が生じる。よって電子線加熱部1bはアルカリ不溶化する。その後、アルカリ水溶液にて現像することによりパターン1Cを形成できる。【効果】本発明の感光性樹脂を4成分で構成しているので、紫外線に対してはナフトキノンジアジドの含有量により特性の最適化を行ない、電子線に対しては、酸発生剤および架橋剤の種類および含有量により特性の最適化を行う。したがって、2つの異なる光源に対して特性の良い感光性樹脂が容易に得られる。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性フェノール樹脂と、前記アルカリ可溶性ノボラック樹脂のアルカリ可溶性を抑えるナフトキノンジアジトからなる感光性樹脂において、酸発生剤と、酸触媒架橋反応により前記アルカリ可溶性ノボラック樹脂と結合する架橋剤を含むことを特徴とする感光性樹脂。
IPC (5件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 505
, G03F 7/022
, G03F 7/028
, H01L 21/027
