静電容量式湿度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-194178
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027733
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】例えば60°C-90%RH、1000時間といった高温高湿環境条件下での安定性にすぐれた静電容量式湿度センサを提供する。【構成】絶縁性基板上に下部電極、高分子感湿膜および上部電極を順次形成させた湿度センサにおいて、高分子感湿膜として芳香族ポリアミド薄膜が用いられ、更に好ましくは下部電極-芳香族ポリアミド薄膜間に配向されたポリイミド薄膜が形成される。

請求項（抜粋）：