特許

J-GLOBAL ID：200903098507677202

水現像性感光性樹脂組成物

発明者： 越村 克夫 ,  西岡 隆 ,  佐藤 穂積
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-248630
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140655
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 光硬化後の樹脂版強度が優れるとともに、破断伸び、反発弾性等も良好で、優れた特性バランスを有する水現像性感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 感光性樹脂組成物は、(1)?@脂肪族共役ジエン、?Aエチレン系不飽和カルボン酸?B少なくとも2個の重合性不飽和基を有する化合物、?Cアミノ基を含有するモノビニル単量体、?D他の共重合可能な単量体を乳化重合あるいは懸濁重合して得た粒子状共重合体と、(2)光重合性不飽和単量体、並びに(3)光重合開始剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(1)?@脂肪族共役ジエン単量体 10〜95モル%、?Aα,β-エチレン系不飽和カルボン酸 0.1〜30モル%、?B少なくとも2個の付加重合可能な基を有する化合物0.1〜20モル%、?Cアミノ基を含有するモノビニル単量体 0.1〜30モル%、および?D他の共重合可能な単量体0〜30モル%、を含有する単量体混合物(但し、?@+?A+?B+?C+?D=100モル%)を乳化重合法あるいは懸濁重合法により合成して得られる粒子状共重合体(a)100重量部に対して、(2)光重合性不飽和単量体5〜100重量部、並びに(3)光重合開始剤0.1〜20重量部を含有することを特徴とする水現像性感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/02