特許
J-GLOBAL ID：200903098514259564
レ-ザ加工方法及びノズルプレ-ト
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009606
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203032
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：
【要約】【課題】 多様な形状のノズル開口を形成することのできるレーザ加工方法及びノズル開口を具備するノズルプレートを提供する。【解決手段】 光学系によって集束させたレーザ光を照射して、テーブルに保持したノズルプレート用フィルムにノズル開口を形成するレーザ加工方法において、光軸Oに対して所定の傾斜角度で保持されたプレート21aを前記光軸Oを中心として回転することによりビームの中心が前記光軸Oに対して偏心し且つ当該ビームが前記光軸Oを中心として回転した透過ビームLaを得る光学ユニット21を用い、前記ノズル開口の加工の途中段階で、前記レーザ光Lの偏心の量を変更する。
請求項（抜粋）：
光学系によって集束させたレーザ光を照射して、テーブルに保持したノズルプレート用フィルムにノズル開口を形成するレーザ加工方法において、光軸に対して所定の傾斜角度で保持されたプレートを前記光軸を中心として回転することによりビームの中心が前記光軸に対して偏心し且つ当該ビームが前記光軸を中心として回転した透過ビームを得る光学ユニットを用い、前記ノズル開口の加工の途中段階で、前記レーザ光の偏心の量を変更することを特徴とするレーザ加工方法。
IPC (3件)：
B41J 2/135
, B23K 26/00 330
, B23K 26/06
B41J 3/04 103 N
, B23K 26/00 330
, B23K 26/06 E
, B23K 26/06 Z
2C057AF93
, 2C057AG02
, 2C057AG12
, 2C057AP13
, 2C057AP23
, 4E068AF00
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068DA00
