特許

J-GLOBAL ID：200903098521557589

圧電体素子およびその製造方法ならびにそれを用いたインクジェット式プリンタヘッド

発明者： 福井 俊巳
出願人/特許権者： 株式会社関西新技術研究所
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-326947
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196652
出願日： 2000年10月26日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 圧電体膜の圧電特性を向上させることを可能にする圧電体素子を提供し、インクジェット式プリンタヘッドの高性能化や耐久性の向上を図る。【手段】 下部電極6と上部電極8とで挟まれた圧電体膜7を、化学式Pb(Zr1-xTix)O3(0.3≦x≦0.9)で表されるPZTで形成しまたはPZTを主成分として形成し、圧電体膜におけるジルコニウムに対するチタンの濃度比が、上部電極側から下部電極側に向かって漸次増加もしくは漸次減少するようにした。

請求項（抜粋）：

化学式Pb(Zr1-xTix)O3(0.3≦x≦0.9)で表される複合酸化物で形成されまたはその複合酸化物を主成分として形成された圧電体膜の両面側に、その圧電体膜を挟むように上部電極および下部電極が配設された圧電体素子であって、前記圧電体膜におけるジルコニウムに対するチタンの濃度比が、前記上部電極側から前記下部電極側に向かって漸次増加もしくは漸次減少することを特徴とする圧電体素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z