特許

J-GLOBAL ID：200903098532950789

渦電流式距離測定装置の調整方法および渦電流式距離測定装置

発明者： 川口 浩之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-028888
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227603
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 自動調整に必要なパラメータを入力するだけで、ゼロ設定、スパン設定、補正を自動で行ない、調整にかかる時間とコストを低減する。【解決手段】 自動調整に必要なパラメータを入力する。渦電流式変位センサを被測定物に接触させて渦電流式変位センサの出力のゼロ設定を行なう。渦電流式変位センサを被測定物に対して所定の測定位置に移動させ、渦電流式変位センサの出力と測定距離とのスパン設定を行なう。渦電流式変位センサの測定位置を基準として測定に使用する距離範囲内で複数の補正位置を求める。各補正位置における渦電流式変位センサの出力の理論値を求める。渦電流式変位センサを各補正位置へ移動させ、各補正位置における渦電流式変位センサの出力を理論値によって補正し、渦電流式変位センサの出力と測定距離との関係を直線化する。

請求項（抜粋）：

自動調整に必要なパラメータを入力する工程と、渦電流式変位センサを被測定物に接触させて渦電流式変位センサの出力のゼロ設定を行なう工程と、渦電流式変位センサを被測定物に対して所定の測定位置に移動させ、渦電流式変位センサの出力と測定距離とのスパン設定を行なう工程と、渦電流式変位センサの測定位置を基準として測定に使用する距離範囲内で複数の補正位置を求める工程と、各補正位置における渦電流式変位センサの出力の理論値を求める工程と、渦電流式変位センサを各補正位置へ移動させ、各補正位置における渦電流式変位センサの出力を理論値によって補正し、渦電流式変位センサの出力と測定距離との関係を直線化する工程とを具備していることを特徴とする渦電流式距離測定装置の調整方法。