特許
J-GLOBAL ID：200903098538402848
コンタクトプローブおよびその製造方法と前記コンタクトプローブを備えたプローブ装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-259832
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104270
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 コンタクトプローブにおいて、耐酸化性に優れるとともに摩耗し難くかつ摩耗粉が生じ難い高硬度な先端部を有することを課題とする。【解決手段】 複数のパターン配線3がフィルム2上に形成されこれらのパターン配線の各コンタクトピン3aが前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブであって、前記先端部は、少なくとも測定対象物に当接させる接触部3b表面が金-ニッケル合金ANで形成されている技術が採用される。
請求項（抜粋）：
複数のパターン配線がフィルム上に形成されこれらのパターン配線の各先端部が前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブであって、前記先端部は、少なくとも測定対象物に当接させる接触部表面が金-ニッケル合金で形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 E
, H01L 21/66 B
