ステージ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-174093
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020917
出願日： 1992年07月01日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】位置決めの分解能が高く、構成が簡潔で位置決め後のステージの位置を高精度に保持することのできるステージ装置を得る。【構成】基盤4上に転がり案内機構5を介してステージ3を載置する。ステージ3と基盤4との間には、ステージの移動方向に剛性を持つ板バネ14によって基盤4上に支持された真空吸着部12を配置する。真空吸着部12は板バネ14によってステージに接触している。ステージ3の移動時には転がり案内機構5によってステージを移動し、ステージ3の位置決めの際には真空吸着部12によってステージを基盤4に固定する。【効果】案内機構とステージとの摩擦が小さいので位置決めの分解能が高くなり、板バネの付勢力のためステージが撓んだり、移動方向に位置ずれを起こしたりすることがない。

請求項（抜粋）：

基盤上に転がり案内機構を介してテーブルを載置し、該テーブルを平面内で移動可能としたステージ装置において、前記基盤と前記テーブルとの間に配置され、前記基盤に対して前記テーブルを吸着し固定する吸着手段と;前記吸着手段を支持するとともに、前記テーブルの移動方向に沿った方向に剛性を有し、且つ前記吸着手段が前記テーブルに対してほぼ均一に接触するように前記吸着手段を前記テーブルに対して付勢する付勢手段とを備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B28D 7/04 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 311 M , H01L 21/30 311 L

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