特許

J-GLOBAL ID：200903098542130313

感光性樹脂組成物及び画像形成材

発明者： 亀山 泰弘
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-302461
公開番号（公開出願番号）：特開2004-138758
出願日： 2002年10月17日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】高い膜厚でも高感度で高解像力のパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(B)光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物において、該組成物がさらに(D)メルカプト基を含有する化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(B)光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物において、該組成物がさらに(D)メルカプト基を含有する化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/085 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  H05K3/00

FI (5件)：

G03F7/085 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  H05K3/00 F ,  H01L21/30 502R

Fターム (16件)：

2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA14 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB29 ,  2H025CB43 ,  2H025CC06 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20