特許
J-GLOBAL ID：200903098544015686
高周波誘導結合プラズマ装置用分割型トーチ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060860
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272896
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 トーチ外筒が変形した場合にも容易に着脱交換できるようにする。【構成】 高周波誘導結合プラズマ装置用のトーチ外筒部をトーチから着脱交換ができるように分割し、両者を突き合わせてトーチ支持アームで周囲を支持固定するようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
試料液を霧化したキャリアガスが導入されるインジェクタ筒と、インジェクタ筒の周囲に設けられ、補助ガスが導入される内筒と、内筒の周囲に設けられ、プラズマガスが導入される外筒とからなり、トーチ支持アームで周囲を支持固定し、導入されるガスをロードコイルで励起してプラズマ化させるようにした高周波誘導結合プラズマ装置用トーチにおいて、前記外筒をトーチ基部とトーチ外筒部とに分割して両者を突き合わせ、トーチ支持アームで周囲を支持固定するようにしたことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ装置用分割型トーチ。
IPC (3件)：
H05H 1/30
, H01J 27/16
, H01J 49/10
