特許
J-GLOBAL ID：200903098544495874
信号波形補正方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-219747
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054418
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 精密機械におけるワークの位置検出に適用して計測精度の向上を図するために、入力信号列の歪みを補正する。【解決手段】 予め、照明強度の違いにより複数の参照信号を作成し、これら複数の参照信号から補正対象の信号波形の各信号要素毎に補正式を作成しておき、補正対象の信号波形が入力したときはその信号波形を上記補正式を用いて補正する。上記信号波形がウエハに形成された位置合わせマークの検出信号である場合、上記参照信号は、ウエハ上の位置合わせマークが無い部分で得られる検出信号であり、該部分を異なる照明強度で照明することにより、複数の参照信号を作成する。
請求項（抜粋）：
被観察面を照明し観察して得られる信号波形から該被観察面のより忠実な観察信号を抽出するために該信号波形を補正する方法であって、照明強度の異なる複数の参照信号を作成する参照信号作成工程と、上記複数の参照信号から上記信号波形の各信号要素毎に補正式を作成する補正式作成工程と、上記補正式を用い被観察面を観察して得られる信号波形を補正する信号補正工程を備えることを特徴とする信号波形補正方法。
FI (2件)：
H01L 21/30 525 W
, H01L 21/30 525 H
