特許

J-GLOBAL ID：200903098559057474

電流差型熱質量流量トランスデューサ

発明者： ヒンクル,リューク・ディー ,  プロヴォスト,ジェームズ
出願人/特許権者： エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-503139
公開番号（公開出願番号）：特表平8-509066
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】開示されている質量流量トランスデューサは、平衡ブリッジを含むタイプのものである。この平衡ブリッジは、その頂部と底部との間の2つの側面(サイド)を形成する2つの実質的に同一の熱素子を含む。2つの熱素子は、層流管の2つの領域に対称的な縦列構成に置かれており、この管を通過する流れを感知し、一方が他方の上流に配置されている。好適なトランスデューサは、ブリッジの頂部と底部とにおける電圧をモニタし、熱素子の間のノードを仮想的なグランドに維持するのに要求される電流をモニタする制御手段を含む。

請求項（抜粋）：

第1の位置における温度と第2の位置における温度との差を感知する回路において、 A)ブリッジであって、 (i)第1、第2、第3及び第4のノードと、 (ii)第1及び第2のノードの間の第1の抵抗を定義する手段と、 (iii)第2及び第3のノードの間の第2の抵抗を定義する手段と、 (iv)前記第1の位置に配置されており、前記第1の位置における温度の関数としての抵抗値を有する前記第1及び第4のノードの間の第3の抵抗を定義する第1の温度感知手段と、 (v)前記第2の位置に配置されており、前記第2の位置における温度の関数としての抵抗値を有する前記第4及び第3のノードの間の第4の抵抗を定義する第2の温度感知手段と、を含むブリッジと、 B)前記第1及び第2の抵抗に亘る電圧を、前記第2のノードにおける電圧が所定の基準レベルに維持されるように、制御する第1の制御手段と、 C)前記第4のノードにおける電圧を前記所定の基準レベルに維持し、前記第3の抵抗と前記第4の抵抗との抵抗値の差の関数であり前記第1及び第2の位置の間の温度差を表す出力信号を発生する第2の制御手段と、 を備えることを特徴とする回路。