走査形プローブ顕微鏡および走査形プローブ顕微鏡における光学像観察方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301643
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124688
出願日： 1999年10月22日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】どんな試料の場合でも、カンチレバ上へのレーザ光の位置合わせが正確に行える走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】試料表面の反射率が低い試料を観察するときは、オペレータは、ハーフミラー23を透過した照明光がカンチレバ上にフォーカスするように、光学顕微鏡21を光軸O方向に沿って移動させる。ハーフミラー23を透過した照明光の一部はカンチレバ取付面19に当たり、カンチレバ取付面19に当たって正反射または乱反射した光がカンチレバ12に当たると、光軸O方向に反射する光が生じる。この反射光のうち、ハーフミラー23を透過した光は光学顕微鏡21のレンズに入射する。この結果、モニター17には、カンチレバ12の光学像が表示され、カンチレバに当たっているレーザ光の像は、カンチレバの像上に光って見える。

請求項（抜粋）：

レーザ光源からのレーザ光をカンチレバに照射し、カンチレバで反射したレーザ光を光検出器で検出して、カンチレバの変位を測定するようにした走査形プローブ顕微鏡において、前記カンチレバを観察可能な位置に配置され、光軸と同軸上に照明可能に構成された光学顕微鏡と、該光学顕微鏡からの照明光を反射および透過させるハーフミラーと、該ハーフミラーで反射した照明光が前記カンチレバを照射し、且つ試料面にほぼ垂直に入射するように、前記ハーフミラーで反射した照明光を反射させるミラーを備え、前記ハーフミラーを透過した照明光は前記カンチレバを照射し、且つ試料面に斜めから入射するように構成されていることを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。

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