特許
J-GLOBAL ID：200903098583094917
接着シート及び切断片の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173224
公開番号（公開出願番号）：特開平11-001671
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 被着体の切断加工等に耐える強力な接着保持力と、形成した切断片を回収する際の前記接着保持力の低減ないし喪失の接着特性を満足させつつ、加熱処理に耐える耐熱性と形成切断片を回収する際の伸長性の両方を具備する接着シートの開発。【解決手段】 伸長性のベース基材(1)の上に接着層(2)を介して切断可能な保持層(3)を有し、その上に熱膨張性微小球含有の接着性を有する熱膨張性層(4)を少なくとも有する接着シート、及びその接着シートにおける熱膨張性層に被切断体(5)を接着保持してその被切断体を所定寸法に、接着シートの保持層を含みベース基材を分離しない深さで切断(6)する工程、前記切断工程後、接着シートの熱膨張性層を加熱し発泡又は膨張処理して接着力を低減又は喪失させると共にベース基材を伸長させて、切断により形成した切断片を回収する工程を少なくとも有する切断片の製造方法。
請求項（抜粋）：
伸長性のベース基材の上に接着層を介して切断可能な保持層を有し、その上に熱膨張性微小球含有の接着性を有する熱膨張性層を少なくとも有することを特徴とする接着シート。
IPC (3件)：
C09J 7/02
, H01L 21/68
, H01L 21/301
C09J 7/02 Z
, H01L 21/68 N
, H01L 21/78 M
