特許
J-GLOBAL ID：200903098584348980
位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052737
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267821
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 位置検出用の光学系で発生した非点収差を補正して、より正確に被検物の2次元的な位置検出を行う。【構成】 レチクルRのパターンが投影光学系PLを介してウエハW上に露光される。投影光学系PLの側面のアライメント系4において、ウエハW上のウエハークWMからのアライメント光が、対物レンズ7、ビームスプリッター6、楕円ゾーンプレート8及び楕円ゾーンプレート9を経て焦点板11上にウエハマークWMの像を結像し、焦点板11上の像が結像レンズ11を介して撮像素子13M及び13Sで撮像される。楕円ゾーンプレート8,9の絶対回転角、相対回転角又は間隔を変えることにより、対物レンズ7及びビームスプリッター6により発生する非点収差を相殺する。
請求項（抜粋）：
被検物上の計測用マークからの位置検出用の光を位置検出光学系を介して観察面上に導き、該観察面上での前記位置検出用の光の位置から前記被検物の位置を検出する装置において、前記被検物と前記観察面との間の前記位置検出用の光の光路に沿って、複数の楕円状の輪帯パターンより形成されると共に、前記複数の楕円状の輪帯パターンの第1の方向での各パターンの間隔及び前記第1の方向に直交する第2の方向での各パターンの間隔の内の少なくとも一方が可変のゾーンプレートを配置し、該ゾーンプレートを形成する前記複数の楕円状の輪帯パターンの前記第1の方向での各パターンの間隔及び前記第2の方向での各パターンの間隔の内の少なくとも一方を変化させる駆動手段を設け、前記ゾーンプレートを形成する前記複数の楕円状の輪帯パターンの前記第1の方向での各パターンの間隔及び前記第2の方向での各パターンの間隔の内の少なくとも一方を変化させることにより、前記位置検出用の光に対して前記位置検出光学系で発生する非点収差を補正するようにしたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 9/00
