特許

J-GLOBAL ID：200903098588368012

電子ビーム蒸発方法

発明者： 力武 利夫 ,  橋本 恵久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168402
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339714
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】 蒸発材料を回転させながら電子ビームにより加熱蒸発させるにあたり、蒸発ムラをなくして均一な蒸着膜を形成すると共に蒸発材料を一様に蒸発させることのできる蒸発方法を提供するものである。【構成】 蒸発源本体1上部に電子銃2と回転可能な蒸発材料5を収容したルツボ4を設置する。該電子銃とルツボをその間に挾むように磁極6a,6bを設置し、各磁極の両端に第1,第2の磁極片8a,8b及び9a,9bを固定する。更に、前記磁極の相対向する部分に補助磁極片11a,11bを固定する。電子銃2からの電子ビームEは偏向系10により蒸発材料5上において、回転中心Oを中心にしてX方向に沿って往復動する。このように補助磁極片を追加することにより蒸発材料上での電子ビームの形状が回転中心O部分とその外周部分とで変化して電流密度が変わるため、蒸発材料を均一に加熱することができる。

請求項（抜粋）：

回転している蒸発物質に電子ビームを照射して蒸発させるにあたって、前記電子ビームを蒸発物質の回転中心から半径方向に往復動させながら蒸発させる方法において、前記蒸発物質に照射する電子ビームの形状を蒸発物質の回転中心部とその外周部とで変化させることにより蒸発物質上での電子ビームの電流密度を変化させて蒸発させることを特徴とする電子ビーム蒸発方法。