特許
J-GLOBAL ID：200903098591513040
光学多層薄膜およびビームスプリッター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
増田 達哉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-068985
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232315
出願日： 1992年02月18日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 広波長域でS偏光成分とP偏光成分の反射率の割合が同じで、かつ無位相差状態を維持しつつ、反射率、入射角等の条件の変更が可能である。【構成】 本発明の光学多層薄膜40は、入射媒質側から順に第1層1、第2層2、第3層3、第4層4、第5層5および第6層6をこの順で積層して構成され、入射光が前記第1層側から入射角40°以上で入射するように用いられる。この光学多層薄膜40を用いたビームスプリッター10は、前記光学多層薄膜40を、入射側プリズム20と出射側プリズム30との間に、第1層1が入射側プリズム20に接触するするように介挿し、構成される。そして、前記入射側プリズム20の屈折率は1.45〜1.95であり、出射側プリズム30の屈折率は1.5〜1.55である。
請求項（抜粋）：
第1層から第6層までの層を前記表面側からこの順に積層してなる光学多層薄膜であって、前記第1層、第3層および第5層の屈折率はそれぞれ1.63〜1.64であり、第2層および第6層の屈折率はそれぞれ1.37〜1.38であり、第4層の屈折率は1.9〜2.3であり、前記光学多層薄膜への入射光が前記第1層側から入射角40°以上で入射するように用いられることを特徴とする光学多層薄膜。
IPC (2件)：
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