感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309022
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125263
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】感度、解像度が高く、パターンの形状や未露光部の残膜率も良好なポジ型の感光性重合体組成物、パターンの製造法及び信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】少なくとも片末端にo-キノンジアジド骨格を有する、ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体が、一般式(1)、(2)又は(3)(式中、個々のRは独立にH、COOH又はCOOR’であり、R’は1価の有機基であり、個々のR1は独立に4価の有機基であり、個々のR2は独立にカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有していてもよい2価の有機基であり、nは整数であり、個々のXは独立にo-キノンジアジド骨格を含む1価の有機基またはヒドロキシ基であり、個々のYは独立にo-キノンジアジド骨格を含む1価の有機基または水素原子である)で表される感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品。

請求項（抜粋）：

少なくとも片末端にo-キノンジアジド骨格を有する、ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/023 501 , C08G 73/14 , C08G 73/22 , C08L 79/04 , C08L 79/08 , G03F 7/037 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/023 501 , C08G 73/14 , C08G 73/22 , C08L 79/04 B , C08L 79/08 A , G03F 7/037 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (58件)：

2H025AA01 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB17 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE02 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025FA29 , 2H096AA27 , 2H096BA10 , 2H096EA02 , 2H096HA01 , 4J002CM031 , 4J002CM041 , 4J002EP016 , 4J002EV206 , 4J002EV216 , 4J002FD026 , 4J002FD200 , 4J002GQ00 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043PB07 , 4J043PB11 , 4J043PB17 , 4J043QB23 , 4J043QB25 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043QB34 , 4J043RA05 , 4J043RA35 , 4J043RA52 , 4J043SA05 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043TA12 , 4J043TA22 , 4J043TA26 , 4J043UA012 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB301 , 4J043UB302

引用特許：

審査官引用 (1件)

化学線感応性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-043704 出願人：東レ株式会社

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