特許
J-GLOBAL ID：200903098593065885
ペリクルおよびペリクル板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330120
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147519
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】ArF以下の短波長であっても充分に透過率を有し、充分なエネルギー耐性を持ち、かつ、加工工程または使用段階での割れ、破損防止処理を施したペリクルを提供する。【解決手段】ペリクルフレームとペリクルフレームの上面に接着されたペリクル板とからなるペリクルであって、ペリクル板は合成石英ガラスからなり、外周部に面取り加工が施され、R面取り部5が形成されている。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームとペリクルフレームの上面に接着されたペリクル板とからなるペリクルであって、ペリクル板は合成石英ガラスからなり、外周部に面取り加工が施されていることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
