特許

J-GLOBAL ID：200903098593976489

感放射線レジスト組成物

発明者： 片岡 睦雄 ,  金築 重佳 ,  大背戸 浩樹
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138462
公開番号（公開出願番号）：特開平6-348019
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【構成】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルまたは1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステル、および(C)カルボキシインデン-3-スルホン酸エステルまたはカルボキシインデン-4-スルホン酸エステルを含むことを特徴とする感放射線レジスト組成物。【効果】ドライエッチング耐性に優れ、感度が高く、レジストプロファイルにスカムの少ないポジ型感放射線レジスト組成物が得られる。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルまたは1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステル、および(C)カルボキシインデン-3-スルホン酸エステルまたはカルボキシインデン-4-スルホン酸エステルを含むことを特徴とする感放射線レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 341 P