浮上搬送装置および浮上搬送システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244645
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072251
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、重い板状基体でも、移動および方向転換を高速で行うことができ、かつ、確実に板状基体を停止させることができる浮上搬送装置および浮上搬送システムを提供する。【解決手段】搬送面に設けられた複数の噴出孔11Bを具備し、噴出孔11Bから噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部1と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも1つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段(移動装置13)を移送部1に設けた。

請求項（抜粋）：

搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる浮上搬送装置において、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段を設けたことを特徴とする浮上搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 51/03 , B65G 49/06 , H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (4件)：

B65G 51/03 C , B65G 49/06 Z , H01L 21/68 A , B65G 49/07 J

Fターム (6件)：

5F031CC04 , 5F031CC15 , 5F031CC20 , 5F031CC52 , 5F031CC54 , 5F031HH10

引用特許：

審査官引用 (9件)

浮上搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-074492 出願人：明石博
特開昭63-202516
特開昭51-007667

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