特許

J-GLOBAL ID：200903098598966562

赤外線トモグラフィー装置

発明者： 古川 純 ,  降屋 久 ,  新行内 隆之
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社 ,  三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054493
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239308
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】 赤外線が物質面に対して非常に低い角度で入射すると、この入射赤外線がその物質表面で全反射することを利用し、高効率で赤外線を結晶体表面近傍に入射可能とし、かつ、結晶体の表面の状態に影響をうけにくく、結晶体の表層部の内部欠陥を確実に検出する装置を提案する。【構成】 赤外線光源41から赤外線IRをウェーハ12裏面もしくは劈開面からその内部に入射する。ウェーハ12内部を透過した赤外線は、その表面12Bに対して低角度で入射し、表面で全反射する。ウェーハ12の内部欠陥dにより散乱光が生じる。この90 ゚散乱光を集光してセンサ64に結像させ、内部欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

板状の結晶体を保持する保持手段と、この結晶体の内部に赤外線を入射し、結晶体の一面において全反射させる入射手段と、この結晶体の入射面に対する赤外線の入射角度を可変とする入射角制御手段と、この結晶体に入射した赤外線による散乱光を検出する散乱光検出手段とを備えたことを特徴とする赤外線トモグラフィー装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/47 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-012254
  
• 特開昭64-023144
  
• 特開平3-282357