発光装置およびその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276374
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119015
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】本発明では水分や酸素等の気体から素子を保護する膜として、積層形成が可能なフッ素系樹脂を含む膜を保護膜として用いることにより、従来よりも容易に発光素子の劣化を防ぎ、信頼性を向上させることを目的とする。【解決手段】本発明では、フッ素系樹脂を含む膜の膜表面を表面処理して表面形状を凹凸構造としたり、フッ素系樹脂を含む膜中におけるフッ素系樹脂の含有量を制御したりすることにより、フッ素系樹脂を含む膜上への他の膜の積層形成を可能とする。また、フッ素系樹脂を含む膜中のフッ素系樹脂の含有量を制御することによってフッ素系樹脂を含む膜上に他の膜の積層する場合には、フッ素系樹脂および金属酸化物からなるターゲットであって、それぞれ含有率の異なる複数のターゲットを順次用いてスパッタリング法で成膜することにより、膜中に含まれるフッ素系樹脂の含有量を制御することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の電極、前記第1の電極上に形成された電界発光膜、及び前記電界発光膜上に形成された第2の電極からなる発光素子を有する発光装置であって、前記第2の電極上にフッ素系樹脂を含む膜と、前記フッ素系樹脂を含む膜上に接して形成された無機絶縁膜とを有することを特徴とする発光装置。

IPC (3件)：

H05B33/04 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/04 , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (8件)：

3K007AB08 , 3K007AB11 , 3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007DB03 , 3K007FA02

引用特許：

審査官引用 (12件)

有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-094834 出願人：パイオニア株式会社
有機EL素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-343635 出願人：出光興産株式会社
発光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-345439 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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