パルスレーザ装置用電極

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217294
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044535
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】容易にパルスの時間的伸長を行うことができ、パルスレーザ装置の小型軽量化をも促進することができる。【解決手段】レーザ媒体ガスが充填されたチャンバ内に放電用電極を設け、この放電用電極間にパルスエネルギーを印加してレーザ媒体ガスを放電励起させてパルスレーザ発振を行わせるパルスレーザ装置のパルスレーザ装置用電極において、カソード21aおよびアノード21bによって形成される放電用電極は、放電用電極間に形成される放電空間の電極間距離が異なる複数の部分放電空間E1a〜E1gを形成する放電面形状をもち、各部分放電空間E1a〜E1gは、異なる放電開始時間によって放電し、時間的に伸張したレーザ出力パルスを生成する。

請求項（抜粋）：

レーザ媒体ガスが充填されたチャンバ内に放電用電極を設け、この放電用電極間にパルスエネルギーを印加してレーザ媒体ガスを放電励起させてパルスレーザ発振を行わせるパルスレーザ装置のパルスレーザ装置用電極において、前記放電用電極は、前記放電用電極間に形成される放電空間の電極間距離が異なる複数の部分放電空間を形成する放電面形状をもつことを特徴とするパルスレーザ装置用電極。

Fターム (7件)：

5F071CC01 , 5F071CC03 , 5F071CC10 , 5F071HH02 , 5F071HH05 , 5F071JJ01 , 5F071JJ05

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