特許
J-GLOBAL ID：200903098612188829
線状電極の欠陥検出方法および欠陥検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082346
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270477
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 線状電極の断線を効率的に検出する。【構成】 線状電極E1〜E5の断線を調べるため、プローブ電極P1〜P4を立体交差させて配置する。線状電極E1〜E5とプローブ電極P1〜P4との各交差点は、容量結合する。線状電極E3の中央ハッチング部を検査するには、電圧供給用選択回路40を切り替えることにより、プローブ電極P2,P3に、同一の交流電圧を、互いに位相を反転させて印加する。このとき、電圧検出用選択回路50を切り替えることにより、線状電極E3の左端を検出回路100に接続し、他の線状電極E3の左端を接地する。検出回路100は、線状電極E3の左端に、電圧変動が観測されなければ、断線なしと判断し、電圧変動が観測されれば、断線ありと判断する。電圧供給用選択回路40および電圧検出用選択回路50の操作により、全線状電極E1〜E5の全区間についての断線検出ができる。
請求項（抜粋）：
所定方向に伸びた線状電極についての欠陥を検出する方法であって、前記線状電極の検出対象区間の両側位置に、第1のプローブ電極および第2のプローブ電極を、それぞれ前記線状電極との間に所定間隔をあけて配置し、周波数および振幅が等しく、互いに位相が反転した関係にある第1の交流電圧および第2の交流電圧を用意し、前記第1のプローブ電極に前記第1の交流電圧を印加するとともに、前記第2のプローブ電極に前記第2の交流電圧を印加したときに、前記線状電極の一端に誘起される前記交流電圧と同一周波数の電圧変動を測定し、この電圧変動の振幅に基づいて前記検出対象区間における欠陥の有無を検出することを特徴とする線状電極の欠陥検出方法。
IPC (2件)：
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