特許
J-GLOBAL ID：200903098621998264
スパッタリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218376
公開番号（公開出願番号）：特開平10-060624
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】マスク体を容易に変形させることによって基板への成膜範囲の調整を簡単に行うことができ、しかも、マスク体の付着膜の除去を作業性良く行えるスパッタリング装置を提供する。【解決手段】基板8の周縁部をマスキングして基板8上の成膜範囲を制御する枠形状のマスク体28と、マスク体28を固定するマスク体取付板12とを備える。マスク体28は、枠体を分割した形状の複数個のマスク素体29a〜29dを環状に配置するとともに、これら各マスク素体29a〜29dを個々に位置の変更が可能な取付状態でマスク体取付板12に固定して構成する。
請求項（抜粋）：
スパッタリング材料のターゲットから放出されるスパッタ粒子によって前記ターゲットに対向配置された基板の表面に薄膜を生成するスパッタリング装置において、前記基板の周縁部をマスキングして基板上の成膜範囲を制御する枠形状のマスク体と、前記マスク体が固定されるマスク体取付板とを備え、前記マスク体は、枠体を分割した形状の複数個のマスク素体が環状に配置されるとともに、前記各マスク素体が個々に位置の変更が可能な取付状態で前記マスク体取付板に固定されてなることを特徴とするスパッタリング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/04 A
, C23C 14/34 T
