特許

J-GLOBAL ID：200903098631647419

荷電粒子線装置用冷却システムおよびその使用法

発明者： 酒井 克彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-092172
公開番号（公開出願番号）：特開平8-287859
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【構成】試料室101の中の試料ウェハ102の上に、コールドトラップ板107が設置されている。コールドトラップ板107は銅の編組線108を介して液体窒素容器109に接続されており、液体窒素温度まで冷却されている。液体窒素容器109は、二重管構造の導入パイプ111によって液体窒素を容器109内に導入する。導入パイプ111の導入口には圧力計112とレリーフバルブ113が設けてある。これにより液体窒素容器109内に液体窒素がある場合は容器109内の圧力を一定の値に保ち、中に液体窒素が残っていることを知ることができる。【効果】断熱特性の良い液体窒素容器を単純な構造で安価に実現し、液体窒素の消耗が少なく、かつ単純で安価に液体窒素の残量を計測できる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線源から荷電粒子線を発生し、電界または磁界レンズによる荷電粒子線光学系を有し、前記荷電粒子線を前記荷電粒子線光学系に通し、制御することによって真空中の試料の観察または分析,加工等の処理を行う装置で、前記試料の前記荷電粒子線を照射する位置の直近に装備した液体窒素による冷却システムにおいて、前記冷却システムを冷やすために設けられた液体窒素容器を試料処理用の真空室内に設けたことを特徴とする荷電粒子線装置用冷却システム。